產品[
便攜式半導體特氣檢漏儀
]資料
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產品名稱:
便攜式半導體特氣檢漏儀
產品型號:
XP-703DIII
產品展商:
日本新宇宙
產品文檔:
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簡單介紹
XP-703D 便攜式半導體特氣檢漏儀,適合于檢測半導體特氣（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等）的微量泄漏；采用聲光報警。
便攜式半導體特氣檢漏儀
的詳細介紹
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型 號
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XP-703D
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檢測對象氣體
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半導體材料氣體（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等）
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檢測原理
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專線型半導體式
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采樣方式
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自動吸引式
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可檢測濃度
（單位：ppm）
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砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氫氣
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0
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檢測表示
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蜂鳴器斷續鳴響及指示燈閃爍
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應答速度
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10秒以內
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檢測對象
H2丨AsH3丨B2H6丨SiH4丨PH3
檢測濃度
1.0ppm丨0.5ppm丨0.2ppm丨0.5ppm丨0.3ppm
檢測原理
專線型半導體式
采樣方式
自動吸引式
應用行業
半導體制造
產品描述：半導體材料氣體檢測
01.產品特點
● 小型·輕量
● 可以檢查非常微量的氣體泄漏
● *適合氫氣相關設備的保安
● 搭載的泵有自動停止功能
● 搭載[自動氣體排氣模式]功能
● 保護等級約為IP22（JIS C 0920）※安裝皮套時
02.產品用途
● 半導體工廠/石油化學工廠等
● 在使用半導體材料氣體/毒性氣體的現場進行泄漏檢測
03.產品參數
※1.根據不同環境條件、使用條件、保存期限、電池廠家，有時會有不同。
※2.安裝皮套時。
※3.所謂相當于IP22是指：對于手指接近設備內部的危險位置的保護結構（IP2X）、以及外部對垂直15度以內傾斜時，在4個位置各2.5分（合計10分）垂直落下的水滴不會給機器內部造成有害影響的結構。
